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帶你了解GMP凈化車間關于生產芯片的操作

2020-06-04    來源:    點擊:2177   

半導體GMP對凈化車間的要求很高,這是一種半導體無塵室,是為了滿足半導體制造工藝需求,GMP凈化車間對環境離子浮塵、溫度、濕度、振動、靜電控制、AMC(氣態分子級污染物)控制等都有一定的要求.相對于其他工業的生產車間,集成電路制造GMP凈化車間有靜電控制嚴格、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。

GMP凈化車間

GMP凈化車間進行操作時的一般管理規定:
1. 處理芯片時,必須戴上防靜電手套,用干凈的鑷子夾住芯片。 不要用手指或其他東西碰芯片。 如晶片受到接觸污染,必須先清洗干凈,才可再次使用:
(1)鑷子前端如有觸碰或掉落地面的話,必須清洗干凈方可使用,且不要用紙巾或布擦鑷子。
(2)清洗芯片之前,如果碰了手指、地面或其他非潔凈物體,必須重新清洗。
(3)把芯片放置于一個石英舟上,準備進爐管時,若發現自己所用鑷子有污損現象或芯片技術上有顯眼由鑷子所引起的污染。
2.芯片必須被放置在盒中,其被存儲在所述蓋的一預定位置,因為它是不被暴露。
3.避免在芯片上談話,以防止唾液濺于芯片上,在芯片進擴散爐前,請特別需要注意,防止出現上述動作產生,若芯片上沾有大量纖維屑時,用氮氣槍噴除污物。
5. 如果芯片上覆蓋著氧化層,在送到黃光室之前不要用鉆石刀切割做出刻記。
6.當GMP凈化車間操作,無論是否戴手套,洗手不能放進水槽。
7.在GMP凈化生產車間進行使用一些化學站或烤箱處理芯片時,務必將導致芯片置放于鐵弗龍晶舟內,避免使用塑料盒。
8.安排在石英舟的芯片,芯片掉在地上,必須重新清洗手清理芯片芯片,然后進入氧化爐。
9.請勿使用觸摸控制芯片盒內部,如被碰觸或有碎芯片進行污染,必須重作清洗。
10.手套,廢紙等零碎的東西,請勿留置于操作臺,手套如果燒毀,撕毀或多種纖維質的變化時必須更換。
11.非經指示,絕不可開啟GMP凈化車間內不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
12.溶液出現氣味怪怪的或不正常的顏色,聲音等,請通知相關人員。
13.總是使用凈化車間清潔筆和無塵本做筆記,一般紙張與鉛筆不得攜入。

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